1030nm 파장의 Litilit Indylit 10 펨토초 레이저와 당사 개발품 4차-조화파 (FHG) DUV 발생기를 결합하여 일체화한 출력파장 257nm DUV 펨토초 레이저 시스템입니다. 200kHz 펄스주파수에서 1.5W 이상의 평균파워와 펄스에너지 7.5uJ 이상을 출력합니다. 당사 개발품 DUV 오토코릴레이션으로 측정한 펄스폭은 600fs 정도입니다. M2<1.4 의 우수한 빔모드를 제공합니다.
DUV 발생기모듈은 완전 밀폐형으로 설계되고 자체 제습 및 필터장치를 내장하여 모듈 내부의 비선형결정과 광학코팅을 DUV 손상과 수분, 먼지로부터 보호합니다. FHG 비선형 결정 스팟의 장시간수명을 보장하도록 빔파라미터들을 세심하게 설계하였습니다.
고파워(HP), 고반복율(HR), 고에너지펄스(HE) 사양으로 세분화하여 다양한 응용에 대응가능 합니다.
자세한 사항은 당사로 문의바랍니다.
이 제품은 DUV 파장에서 샘플가공 및 데모가능합니다.