DUV
🆕 Spectra DUV-266P 피코초 266nm-DUV 레이저
작성자 관리자
날짜 2023-02-19 12:43:21
▶파장 266nm
▶펄스폭 <15ps
▶펄스에너지 >30uJ @20kHz (0.6W)
▶펄스에너지 >15uJ @100kHz (1.5W)
▶반복주파수 s.s.~20kHz (옵션 500kHz 까지)
▶산업용, OEM 설계
▶공냉 (팬)
제품정보
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Spectra DUV-266P High Energy Picosecond 266nm-DUV Lasers
- 266nm-DUV 고에너지 피코초 레이저
- 제조사: (한) 레이저스펙트라
Spectra 266P 레이저시스템은 266nm DUV 파장에서 피코초, 고에너지펄스를 필요로 하는 응용 수요에 대응하기 위하여 개발된 시스템입니다. 시스템은 파장 1064nm, 피코초펄스 DPSS 레이저 (어테뉴에이터포함) 와 당사가 개발한 산업용 초고속 조화파 4배기 (Fourth Harmonic Generator, FHG) 모듈 iUHG-1064P-4 로 구성됩니다.
조화파 4배기 iUHG-1064P-4
4차 조화파 발생기 iUHG-1064P-4 는 산업용 초고속 피코초 레이저에 최적화되어 있습니다. 1064nm 파장의 ir 빔을 SHG 단에서 532nm 로 변환하고 이어 FHG 단에서 266nm 파장을 출력하는 2단 구성으로 이루어져 있습니다. 변환 크리스털들은 정밀 오븐에서 온도가 극도로 안정되어 장시간 출력안정도를 보장합니다. 특히 FHG 크리스털의 장시간 수명을 위하여 SHG 및 FHG 파라미터들을 면밀히 조정하고 있습니다. 20kHz 주파수에서 사용시 기대 수명은 1년 사용을 보증합니다.
▶ SHG & FHG Ave. Power (typical)
▶ FHG pulse energy (100Hz~25kHz))
▶빔프로파일 (진원도>85%)
▶빔품질 (M2<2.0)
▶ 3-파장 옵션- 1064, 532nm & 266nm
266nm, 532nm, 1064nm 3-파장 동시 출력 옵션으로서 각 파장별 펄스에에너지는 주문사양에 따라 조정됩니다. 3개의 포트를 통해 출력됩니다. 3-파장 출력을 필요로 하는 응용에 적합니다.
266nm 파장에서 30uJ 이상의 고품질 피코초 고에너지 펄스를 제공하기 때문에 uLED LLO (Laser Lift-Off), 반도체 마스크 리페어, 평판디스플레이 패널의 선택적 가공 및 리페어 등의 응용에 효율적입니다.
제품정보
Spectra DUV-266P-6 High Power 266nm-DUV Picosecond Lasers
제조사: (한) 레이저스펙트라
특징
- ▶IR 레이저: Spectra-Physics Icefyre 1064
- ▶출력파장 266nm
- ▶펄스폭 <15ps
- ▶평균파워 >6W @200kHz, 400kHz, 800kHz
- ▶펄스에너지 30uJ max
- ▶반복주파수 200kHz, 400kHz, 800kHz (선택사양)
- ▶산업용, OEM 설계
- ▶하이브리드 셔터방식의 플랫톱 게이트펄스 (특허출원)
- ☎ 제품의 상세 사양은 당사에 문의 바랍니다.
제품응용
- •uLED LLO (Laser Lift-Off)
- •반도체 마스크 리페어 가공
- •평판디스플레이 패널 가공
적용기술
Spectra DUV-266P 시스템 레이아웃
시스템은 피코초펄스 레이저, 어테뉴에이터, 하모닉 모듈로 구성됩니다. 레이저는 다이오드 펌프 Nd:YVO4 레이저로서 20kHz 주파수에서 최대 250uJ 의 펄스에너지를 출력합니다. 파장은 1064nm, 펄스폭은 <15ps 로서 보통 10ps 근처의 펄스를 제공합니다. 어테뉴에이터를 거친 ir 빔은 조화광 발생기에 입사됩니다.
조화광 입사빔은 적절한 빔쉐이핑 광학을 거쳐 SHG 단에 입사합니다. SHG 모듈은 SHG 변환크리스털, 크리스털 마운트, 정밀 온도오븐, 알루미늄 모노리딕 하우징으로 구성되어 있습니다. 크리스털의 위상정합은 온도로 튜닝됩니다. 마운트는 크리스털에 기계적 변형을 가하지 않으면서 크리스털을 안전하게 고정하도록 세심하게 디자인되었으며 오븐의 열을 전달하여 온도가 정밀하게 제어되도록 설계되었습니다. 온도제어기는 0.1C 스텝으로 실온에서 200C 까지 제어가능하며, 컴퓨터 제어 및 모니터 옵션을 제공합니다. 필요한 경우 퍼지가스를 순환시킬수 있도록 피팅장치가 제공되며 습도센서가 습도를 모니터합니다.
SHG 단에서 변환된 532nm 파장의 빔은 적절한 빔 쉐이핑광학을 거쳐 FHG 단에 입사합니다. 1064nm 파장의 잔여 (residual) 빔은 빔덤프로 블록되거나 ir 출구를 통하여 출력됩니다 (옵션). SHG 변환효율을 대략 50% 정도로 보면 입사빔의 50% 가 잔여빔으로 빠집니다.
FHG 단 역시 SHG 단과 동일하게 FHG 크리스털, 마운트, 오븐, 하우징으로으로 구성됩니다. 크리스털의 종류가 다르기 때문에 온도가 다르게 설정됩니다. 266nm 파장으로 변환된 FHG 빔은 2개의 하모닉미러에서 반사되어 266nm 출구로 출력됩니다. FHG 빔의 직경과 발산각은 빔쉐이핑 광학에 의해 정해집니다. FHG 크리스털의 수명 확보와 양호한 빔품질을 얻기 위하여 크리스털의 사이즈, 빔쉐이핑 광학계가 세심하게 설계되었습니다.
변환되지 않는 532nm 잔여빔은 블록되거나 532nm 출구를 통해서 출력됩니다 (옵션).
3파장 출력 (옵션)
이 옵션은 변환되지 않은 1064nm 잔여빔과 532nm 잔여빔이 출구를 통해서 266nm 빔과 동시에 출력되도록 설계됩니다. 펄스에너지 200uJ 의 입사빔에 대해서 SHG 단에서 대략 50% 인 100uJ 정도가 1064nm 잔여빔으로 출력됩니다. 다시 100uJ 의 532nm 빔이 입사하여 FHG 단에서 30~40% 정도가 266nm 파장으로 변환되고 나머지 60~70% 정도가 532nm 잔여빔으로 출력됩니다. 따라서 200uJ 이 입사하는 경우 1064nm 빔은 100uJ, 532nm 빔은 70uJ, 266nm 빔은 30uJ 의 비율로 3-파장 펄스에너지를 얻을수 있습니다. 입사빔의 에너지가 낮으면 이 비율은 변경될 수있습니다.
펄스셀렉터 (옵션)
프리런 (free run) 상태의 레이저펄스를 펄스셀렉터 이용하여 선별적으로 펄스를 제어하면 보다 안정적인 펄스에너지를 제공할 수 있습니다. 이를 위하여 iUHG-1064P 하모닉모듈 내부의 SHG 앞단에 전기광학 포켈셀 (Pockels cell) 이 장착됩니다. 펄스제어는 컴퓨터 GUI 또는 외부 TTL 트리거신호로 제어됩니다.
- •연속 On/Off 모드: GUI 상에서 버튼 조작에 의해 연속적인 펄스를 출력하거나 블록합니다.
- •게이트모드: 외부 게이트 신호에 의해 게이트 시간 동안만 펄스를 출력합니다.
- •버스트모드: GUI 상에서 지정된 펄스갯수만큼 GUI Fire 버튼조작 또는 외부트리거 신호에 의해 출력됩니다.
- •N-분할모드: 레이저의 프리런 주파수에서 N 분할된 레이저펄스를 출력합니다.
- •N-분할 게이트/버스트모드: N-분할된 펄스를 외부 게이트신호 시간동안만 출력합니다.
