제품정보

Excimer

IPEX Series Excimer Lasers

작성자 관리자 날짜 2022-12-26 11:15:23
◆엑시머레이저 ◆ArF(193nm) ◆KrF(248nm) ◆XeCl(308nm) ◆XeFl(351nm)
제품정보
  • IPEX-700 10xBetter

  • Medium-Power Excimer Lasers for Industrila, R&D and Scientific Applications
  • •중출력 엑시머 레이저
  • •제조사: (캐) Light Machinery

 

IPEX-700: 엑시머 레이저의 새로운 시장 리더.

LightMacinery 엑시머 레이저는 전 세계 최고의 R&D 과학자들이 사용합니다. IPEX-700은 산업 및 R&D 용으로 중간 듀티 사이클 작동을 위해 설계되었으며, IPEX-700 시리즈 레이저는 최신 성능과 결합된 고출력 자외선 레이저 가공을 제공합니다. LightMachinery의 특허받은 exciPure™ 기술을 통합한 IPEX 레이저는 엄청나게 긴 가스 수명, 우수한 광학적 안정성 및 레이저 작동 매개변수의 정밀한 제어를 제공합니다.

10배 더 우수하고, 강력하고, 안정적이고, 컴팩트하고, 작동이 간편

엑시머 레이저 작동의 가장 큰 단일 비용은 레이저 가스 소비입니다(동적 가스 수명*이라고도 함). 당사의 특허받은 exciPure ™ 기술을 통해 LightMacinery는 경쟁 레이저에 비해 가스 사용량을 10배 향상시켰습니다. 이 기술 혁신으로 인해 레이저 실행 비용이 크게 절감됩니다. 광학 포트에 장착된 EasyClean 자동 밸브를 사용하면 청소 및 유지 관리를 위해 공진기 광학 장치를 제거하는 동안 레이저 챔버를 밀봉하고 가스 충전을 유지할 수 있습니다 . 사용하기 쉽고 서비스가 간단하며 작동이 경제적인 IPEX-700 레이저는 고정밀 엑시머 처리의 이점을 오늘날 시장에서 가장 낮은 총 소유 비용 및 가장 높은 가동 시간과 결합합니다. IPEX-700은 펄스 레이저 증착, PLD와 같은 응용 분야에 이상적입니다. IPEX-700 은 Windows를 사용하는 모든 컴퓨터에서 작동할 수 있습니다. 편의를 위해 Microsoft Surface Pro 최신버전의 태블릿 PC가 포함되어 있습니다.

*동적 가스 수명은 레이저를 작동하는 동안의 가스 사용량입니다. 정적 가스 수명은 레이저를 실행하지 않을 때의 가스 사용량입니다.

 

 

특징

  • •exciPure™ technology for increddible 10X gas lifetimes and the lowest cost of operation
  • •No expensive cryogenic gas purifier is required
  • •EasyClean automated optics seals to retain gas fill and reduce downtime during optics maintenance
  • •Optional High-Brightness optics for applications requiring low beam divergence or extended coherence length
  • •High-stability optics mounts for ultimate beam pointing accuracy
  • •Simple integration into industrial processing systems
  • •Microsoft® Surface Pro 4 remote control for the ultimate in simple operation, can be operated as a tablet or with the keyboard
  •  

장점

  • •Massive dynamic gas lifetime, low operating cost
  • •Simplifies optical maintenance, retains gas fill and passivation
  • •Delivers 200 microradian pointing stability
  • •No realignment required after cleaning or replacing optics
  • •Fast, precise energy stabilization in internal, burst and external trigger modes
  • •Excellent energy stability, better than 1.0% (KrF)
  • •Removes particulates and maintains optics cleanliness

 

모델&옵션

  • •펄스에너지 (mJ)
Wavelength (nm)   ArF/193  KrF/248  XeCl/308  XeF/351
 IPEX740, Max energy  230  475  300  275
 IPEX740, Stabilized  150  400  250  225
 IPEX760, Max energy  250  700  600  350
 IPEX760, Stabilized  200  600  500  300
  •  
  • •평균파워(stabilized)/최대반복율
   ArF/193nm  KrF/248nm  XeCl/308nm  XeF/351nm
 IPEX-746 15W/100Hz 40W/100Hz 25W/100Hz 22W/100Hz
 IPEX-744 7.5W/50Hz 20W/50Hz 12W/50Hz 11W/50Hz
 IPEX-742 3.7W/25Hz 10W/25Hz 6W/25Hz 5.5W/25Hz
 IPEX-766 10W/50Hz 30W/50Hz 25W/50Hz 15W/50Hz
 IPEX-764 6W/30Hz 18W/30Hz 10W/20Hz 9W/30Hz
 IPEX-762 3W/15Hz 9W/15Hz 5W/10Hz 4.5W/15Hz 

 

  • •옵션: High brightness unstable resnator optics (beam divergence 0.25mrad)
  • •공통: 펄스폭 12-20ns, 펄스안정도 1% (1-sigma, KrF), 빔사이즈 12x24mm (IPEX-740), 12x26mm (IPEX-760)
  • •공통: 수냉, AC200-240 단상전원

 

  • 응용
  • •24/ 7 Pulsed Laser Deposition
  • •Precision Manufacturing
  • •Material Processing
  • •Drilling
  • •Wire Stripping
  • •Scientific Research
  • •LIDAR
  • •Laser Induced Breakdown Spectroscopy
제품정보
  • IPEX-800 10xBetter

  • Industrial Excimer Lasers
  • •산업용 엑시머 레이저
  • •제조사: (캐) Light Machinery

 

IPEX-800: 높은 듀티 사이클, 매우 낮은 가스 사용량으로 24/7 고출력 운전

제조 환경에서 높은 듀티 사이클 동작을 위해 설계된 IPEX-800 시리즈 레이저는 최첨단 성능과 결합된 고출력 자외선 레이저 가공을 제공합니다. LightMachinery의 특허받은 exciPure™ 기술을 통합한 IPEX 레이저는 엄천나게 긴 가스수명 , 우수한 광학적 안정성 및 레이저 작동 매개변수의 정밀한 제어를 제공합니다.

엑시머 레이저 작동의 가장 큰 단일 비용은 레이저 가스 소비입니다(동적 가스 수명*이라고도 함). 특허 출원 중인 exciPure ™ 기술을 통해 LightMacinery는 경쟁 레이저보다 가스 사용량을 10배 향상시켰습니다. 이 기술 혁신으로 인해 레이저 운전비용이 크게 절감됩니다. 옵틱포트에 장착된 EasyClean 자동 밸브를 통해 레이저 챔버를 밀봉하고, 청소 및 유지보수를 위해 공진기 광학 장치를 제거하는 동안 가스충전은 유지됩니다. 

사용하기 쉽고 서비스가 간단하며 작동이 경제적인 IPEX-800 레이저는 고정밀 엑시머 가공의 이점을 오늘날 시장에서 가장 낮은 총 소유 비용 및 가장 높은 가동 시간과 결합합니다. 세라믹 마킹은 이러한 다목적 산업용 장비의 많은 응용 분야 중 하나입니다.

 

  • 특징
  • •exciPure™ technology for incredible 10X gas lifetimes and the lowest cost of operation
  • •No expensive cryogenic gas purifier is required
  • •EasyClean automated optics seals to retain gas fill and reduce downtime during optics maintenance
  • •Optional High-Brightness optics for applications requiring low beam divergence or extended coherence length
  • •High-stability optics mounts for ultimate beam pointing accuracy
  • •Simple integration into industrial processing system

 

  • 장점
  • •Extended gas lifetime, long replacement intervals, low operating cost
  • •Simplifies optical maintenance, retains gas fill and passivation
  • •Delivers 200 microradian pointing stability
  • •No realignment required after cleaning or replacing optics
  • •Fast, precise energy stabilization in internal, burst and external trigger modes
  • •Excellent energy stability, better than 1.0% (KrF)
  • •Removes particulates and maintains optics cleanliness

 

 

  • 모델&옵션
  • •펄스에너지 (mJ)
Wavelength (nm)  ArF/193 KrF/248 XeCl/308 XeF/351
 IPEX-840, max energy 230 450 300 275
 IPEX-840, stabilized 150 400 250 225
 IPEX-860, max energy 250 700 600 350
 IPEX-860, stabilized 200 600 500 300
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  • •평균파워/최대반복율
  ArF/193 KrF/248 XeCl/308 XeF/351
IPEX-848 30W/200Hz 80W/200Hz 50W/200Hz 45W/200Hz
IPEX-846 15W/100Hz 40W/100Hz 25W/100Hz 22W/100Hz
IPEX-844 6W/40Hz 20W/50Hz 12W/50Hz 11W/50Hz
IPEX-842 3W/20Hz 10W/25Hz 6W/25Hz 5.5W/25Hz
IPEX-868 20W/100Hz 60W/100Hz 50W/100Hz 30W/100Hz
IPEX-866 10W/50Hz 30W/50Hz 25W/50Hz 15W/50Hz
IPEX-864 5W/25Hz 18W/30Hz 10W/30Hz 9W/30Hz
IPEX-862 2.5W/12Hz 9W/15Hz 5W/10Hz 4.5W/15Hz
  •  
  • •옵션: High brightness unstable resnator optics (beam divergence 0.25mrad)
  • •공통: 펄스폭 12-20ns, 펄스안정도 1% (1-sigma, KrF), 빔사이즈 12x24mm (IPEX-840), 12x26mm (IPEX-860)
  • •공통: 수냉, AC200-240 단상전원

 

  • 응용
  • •24/ 7 Pulsed Laser Deposition
  • •Precision Manufacturing
  • •Material Processing
  • •Drilling
  • •Wire Stripping
  • •Scientific Research
  • •LIDAR
  • •Laser Induced Breakdown Spectroscopy
엑시머 가스

레이저가스 및 가스공급장치

엑시머레이저는 프리믹스 또는 개별 가스실린더에서 배합된 혼합가스를 레이저 챔버에 주입하여 게인매질로 사용합니다. 가스 수명이 도달하면 신선한 가스로 교체합니다. 따라서 레이저용 혼합 가스 뿐만 아니라 가스교체시 유해물질로부터 안전, 오염 방지, 클리닝 용도로 네온 같은 가스를 별도로 사용합니다. 개별 가스의 혼합비율은 사용자 매뉴얼을 참조하십시오. 

레이저 운전 장소와 멀지 않은 곳에 적절한 가스배합 장치를 갖춘 독립된 가스공급시설을 갖추기를 권장합니다.  

당사는 레이저용 가스를 판매하지 않습니다. 레이저 운전 및 유지보수에 필요한 개별가스와 가스공급장치는 당국의 허가된 전문업체에게 문의하십시오. 

적용기술

(내용 준비중)