IPEX-700: 엑시머 레이저의 새로운 시장 리더.
LightMacinery 엑시머 레이저는 전 세계 최고의 R&D 과학자들이 사용합니다. IPEX-700은 산업 및 R&D 용으로 중간 듀티 사이클 작동을 위해 설계되었으며, IPEX-700 시리즈 레이저는 최신 성능과 결합된 고출력 자외선 레이저 가공을 제공합니다. LightMachinery의 특허받은 exciPure™ 기술을 통합한 IPEX 레이저는 엄청나게 긴 가스 수명, 우수한 광학적 안정성 및 레이저 작동 매개변수의 정밀한 제어를 제공합니다.
10배 더 우수하고, 강력하고, 안정적이고, 컴팩트하고, 작동이 간편
엑시머 레이저 작동의 가장 큰 단일 비용은 레이저 가스 소비입니다(동적 가스 수명*이라고도 함). 당사의 특허받은 exciPure ™ 기술을 통해 LightMacinery는 경쟁 레이저에 비해 가스 사용량을 10배 향상시켰습니다. 이 기술 혁신으로 인해 레이저 실행 비용이 크게 절감됩니다. 광학 포트에 장착된 EasyClean 자동 밸브를 사용하면 청소 및 유지 관리를 위해 공진기 광학 장치를 제거하는 동안 레이저 챔버를 밀봉하고 가스 충전을 유지할 수 있습니다 . 사용하기 쉽고 서비스가 간단하며 작동이 경제적인 IPEX-700 레이저는 고정밀 엑시머 처리의 이점을 오늘날 시장에서 가장 낮은 총 소유 비용 및 가장 높은 가동 시간과 결합합니다. IPEX-700은 펄스 레이저 증착, PLD와 같은 응용 분야에 이상적입니다. IPEX-700 은 Windows를 사용하는 모든 컴퓨터에서 작동할 수 있습니다. 편의를 위해 Microsoft Surface Pro 최신버전의 태블릿 PC가 포함되어 있습니다.
*동적 가스 수명은 레이저를 작동하는 동안의 가스 사용량입니다. 정적 가스 수명은 레이저를 실행하지 않을 때의 가스 사용량입니다.
특징
장점
모델&옵션
Wavelength (nm) | ArF/193 | KrF/248 | XeCl/308 | XeF/351 |
IPEX740, Max energy | 230 | 475 | 300 | 275 |
IPEX740, Stabilized | 150 | 400 | 250 | 225 |
IPEX760, Max energy | 250 | 700 | 600 | 350 |
IPEX760, Stabilized | 200 | 600 | 500 | 300 |
ArF/193nm | KrF/248nm | XeCl/308nm | XeF/351nm | |
IPEX-746 | 15W/100Hz | 40W/100Hz | 25W/100Hz | 22W/100Hz |
IPEX-744 | 7.5W/50Hz | 20W/50Hz | 12W/50Hz | 11W/50Hz |
IPEX-742 | 3.7W/25Hz | 10W/25Hz | 6W/25Hz | 5.5W/25Hz |
IPEX-766 | 10W/50Hz | 30W/50Hz | 25W/50Hz | 15W/50Hz |
IPEX-764 | 6W/30Hz | 18W/30Hz | 10W/20Hz | 9W/30Hz |
IPEX-762 | 3W/15Hz | 9W/15Hz | 5W/10Hz | 4.5W/15Hz |
IPEX-800: 높은 듀티 사이클, 매우 낮은 가스 사용량으로 24/7 고출력 운전
제조 환경에서 높은 듀티 사이클 동작을 위해 설계된 IPEX-800 시리즈 레이저는 최첨단 성능과 결합된 고출력 자외선 레이저 가공을 제공합니다. LightMachinery의 특허받은 exciPure™ 기술을 통합한 IPEX 레이저는 엄천나게 긴 가스수명 , 우수한 광학적 안정성 및 레이저 작동 매개변수의 정밀한 제어를 제공합니다.
엑시머 레이저 작동의 가장 큰 단일 비용은 레이저 가스 소비입니다(동적 가스 수명*이라고도 함). 특허 출원 중인 exciPure ™ 기술을 통해 LightMacinery는 경쟁 레이저보다 가스 사용량을 10배 향상시켰습니다. 이 기술 혁신으로 인해 레이저 운전비용이 크게 절감됩니다. 옵틱포트에 장착된 EasyClean 자동 밸브를 통해 레이저 챔버를 밀봉하고, 청소 및 유지보수를 위해 공진기 광학 장치를 제거하는 동안 가스충전은 유지됩니다.
사용하기 쉽고 서비스가 간단하며 작동이 경제적인 IPEX-800 레이저는 고정밀 엑시머 가공의 이점을 오늘날 시장에서 가장 낮은 총 소유 비용 및 가장 높은 가동 시간과 결합합니다. 세라믹 마킹은 이러한 다목적 산업용 장비의 많은 응용 분야 중 하나입니다.
Wavelength (nm) | ArF/193 | KrF/248 | XeCl/308 | XeF/351 |
IPEX-840, max energy | 230 | 450 | 300 | 275 |
IPEX-840, stabilized | 150 | 400 | 250 | 225 |
IPEX-860, max energy | 250 | 700 | 600 | 350 |
IPEX-860, stabilized | 200 | 600 | 500 | 300 |
ArF/193 | KrF/248 | XeCl/308 | XeF/351 | |
IPEX-848 | 30W/200Hz | 80W/200Hz | 50W/200Hz | 45W/200Hz |
IPEX-846 | 15W/100Hz | 40W/100Hz | 25W/100Hz | 22W/100Hz |
IPEX-844 | 6W/40Hz | 20W/50Hz | 12W/50Hz | 11W/50Hz |
IPEX-842 | 3W/20Hz | 10W/25Hz | 6W/25Hz | 5.5W/25Hz |
IPEX-868 | 20W/100Hz | 60W/100Hz | 50W/100Hz | 30W/100Hz |
IPEX-866 | 10W/50Hz | 30W/50Hz | 25W/50Hz | 15W/50Hz |
IPEX-864 | 5W/25Hz | 18W/30Hz | 10W/30Hz | 9W/30Hz |
IPEX-862 | 2.5W/12Hz | 9W/15Hz | 5W/10Hz | 4.5W/15Hz |
레이저가스 및 가스공급장치
엑시머레이저는 프리믹스 또는 개별 가스실린더에서 배합된 혼합가스를 레이저 챔버에 주입하여 게인매질로 사용합니다. 가스 수명이 도달하면 신선한 가스로 교체합니다. 따라서 레이저용 혼합 가스 뿐만 아니라 가스교체시 유해물질로부터 안전, 오염 방지, 클리닝 용도로 네온 같은 가스를 별도로 사용합니다. 개별 가스의 혼합비율은 사용자 매뉴얼을 참조하십시오.
레이저 운전 장소와 멀지 않은 곳에 적절한 가스배합 장치를 갖춘 독립된 가스공급시설을 갖추기를 권장합니다.
당사는 레이저용 가스를 판매하지 않습니다. 레이저 운전 및 유지보수에 필요한 개별가스와 가스공급장치는 당국의 허가된 전문업체에게 문의하십시오.
(내용 준비중)