세미콘코리아 2016 (http://www.semiconkorea.org/ko/) 전시회에 당사는 (부스번호 C홀 1453)
-차세대 반도체 EUV 리소그래피 분야의 검사측정용 13.5nm EUV광원인 eXtra-13.5 EUV 광원시스템과, EUV분광기 및 에너지측정 장비
-분광기, ellipsometer 등에 적용가능한 185nm-2700nm 를 커버하는 high brightness 레이저플라즈마광원을
출품, 전시 하고 있습니다.
많은 관심 바랍니다.
레이저스펙트라