제조사: 레이저스펙트라 제품개요: Coherent euv light Wavelength range 10~30nm fs Ti:spphire laser-pumped Ne or He gas cell 제품개발 및 사양은 자세한 사항은 당사로 직접 연락 주십시오.

◆파장 13.5nm EUV 광을 출력하는 LPP 광원 ◆Fast rotating ligquid metal 을 laser target 으로 한 Debris 회피기술을 적용 (클린 EUV 광원) ◆Actinic EUV 검사, 측정장비의 최적 EUV 광원
제조사: (네) ISTEQ B.V.
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